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Plasma
Les appareils du service font partie du UCA-PARTNER (Plateformes Assistance à la Recherche, aux Technologies et aux Entreprises) de l’Université Clermont Auvergne.
Applications
Les domaines d’applications concernent les revêtements pour l’optique, la mécanique, l’optoélectronique. Possibilité d’élaborer des matériaux isolants ou conducteurs sur tout type de substrat (polymère, verre, acier, silicium…).
Contacts du service
Angélique BOUSQUET, Responsable du service | 04 73 40 53 72 |
Joël CELLIER | 04 73 40 70 99 |
Équipements
- Enceinte de pulvérisation cathodique magnétron radiofréquence.
- Moyen de contrôle in situ : spectrométrie d’émission optique.
- Caractérisation morphologique et structurale des couches minces : DRX, MEB, profilométrie, analyse spectroscopiques (IRTF, RBS, RAMAN)
- Caractérisation optiques, mécaniques et électriques : spectroscopie UV-visible, ellipsométrique, nano-indentation, mesures courant-tension et capacité-tension.
Prestations
- Définition d’un matériau « test » répondant à l’objectif visé du partenaire industriel.
- Mise en place d’une procédure d’élaboration des couches minces.
- Définition des moyens de caractérisation.
- Rapport d’expertise.